压点材料真空镀膜加工平台-半导体研究所-上海压点材料真空镀膜

压点材料真空镀膜——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，压点材料真空镀膜平台，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

pvd技术出现于二十世纪七十年代末，真空镀膜机镀膜技术制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、---的耐磨性和化学稳定性等优点。初在高速具领域的成功应用引起了制造业的高度重视，人们在开发、高---性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了深入的涂层应用研究。

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离子镀膜技术广泛应用于装饰真空镀膜机，硬质涂层真空镀膜机，连续式真空镀膜机，汽车零部件真空镀膜机等等，因其居于沉积速率快，摩擦均匀性好，压点材料真空镀膜加工平台，膜层致密好，绕射性好等优点，被市场---。

离子镀是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质离子化，在气体离子或蒸发物质离子轰击作用下，把蒸发物质或其反应物蒸镀在工件上。其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀（空心阴极蒸镀法）、多弧离子镀（阴极电弧离子镀）等。离子镀把辉光放电、等离子技术与真空蒸镀技术结合在一起，不仅明显地提高镀层的各种性能，而且---扩充了镀膜技术的应用范围。离子镀除兼有真空溅射的优点外 ，还具有膜层的附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点。

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