真空镀膜微纳加工实验室-半导体研究所-北京微纳加工实验室

微纳加工实验室——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

　滤波器作为一种选频元件，用来抑制噪声、选择或限定rf/微波信号的频段范围，在许多rf/微波应用中起着重要的作用。传统的滤波器体积大、制造成 本高并且不容易与单片集成电路集成，在毫米波频段内损耗大，而由微电子技术与机械、光学等领域交叉融合而产生的mems代工的技术，具有小型化、多样化以及可集成化的特点 。

　　射频mems滤波器在2017年到2022年期间将以35%的复合年增长率成长，增速水平位居各种mems产品的---。

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微纳加工实验室——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

主要应用：

一、形貌观测

---离子束轰击样品表面，激发二次电子、中性原子、二次离子和光子等，收集这些信号，经处理显示样品的表面形貌。目前---离子束系统成像分辨率已达到5nm，真空镀膜微纳加工实验室，比扫描电镜稍低，但成像具有更真实反映材料表层详细形貌的优点。

二、无掩模蚀刻

高能---离子束轰击样品时，北京微纳加工实验室，其动能会传递给样品中的原子分子，产生溅射效应，从而达到不断蚀刻，即切割样品的效果。其切割定位精度能达到5nm级别，半导体微纳加工实验室，具有的切割精度。

三、薄膜淀积

利用离子束的能量激发化学反应来沉积金属材料和非金属材料。通过气体注入系统将一些金属有机物气体喷涂在样品上需要沉积的区域，当离子束---在该区域时，离子束能量使有机物发生分解，分解后的金属固体成分被沉积下来，而挥发性有机物成分被真空系统抽走。

四、透射电镜样品制备

通常透射电镜的样品厚度需控制在0.1微米以下。传统方法是通过手工研磨和离子溅射减薄来制样，微流控微纳加工实验室，不但费时而且还无法定位。---离子束在制作透射电镜样品时，不但能定位，还能做到不污染和损伤样品。

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