钨金属真空镀膜实验室-贵州真空镀膜实验室-半导体光刻

真空镀膜实验室mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，氧化钛真空镀膜实验室，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微电子从40年代末的只晶体管(ge合金管)问世，贵州真空镀膜实验室，50年代中期出现了硅平面工艺，此工艺不仅成为硅晶体管的基本制造工艺，也使得将多个分立晶体管制造在同在一硅片上的集成电路成为可能，随着制造工艺水平的不断成熟，使微电子从单只晶体管发展到今天的ulsi。

回顾发展历史，钨金属真空镀膜实验室，微电子技术的发展不外乎包括两个方面:制造工艺和电路设计，而这两个又是相互相成，互相促进，共同发展。

1.1半导体工业的诞生

·电信号处理工业始于上个世纪初的真空管，真空管使得收音机、电视机和其他电子产品成为可能。它也是_上台计算机的大脑。

·真空管的缺点是体积大、功耗大，寿命短。当时这些问题成为许多科学家寻找真空管替代品的动力，这个努力在1947年12月23日得以实现。也就是只ge合金管的诞生。如图所示。

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真空镀膜实验室mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

真空镀膜冷水机结构：

1、真空泵（进口）；

2、水箱、水泵；

3、冷却塔；

4、冷凝器；

5、压缩机；

6、过滤器；

7、膨胀阀；

8、压力表；

9、电控箱。

真空泵的作用是将压缩空气进行减压，然后送到水箱里。

水箱的作用是储存冷媒水，并起到散热作用。 水泵的作用是将冷媒水加压送入冷却塔中。 冷凝器的作用是使进入蒸发器的热交换气体降温，同时将制冷剂在蒸发器中的液化气放掉一部分。

膨胀阀的作用是当制冷系统出现故障时自动开启排气口，释放出系统中多余的压力和热量。

电控柜的功能是对整个系统的控制及保护功能。（包括对温度的控制、压力的监控、过电流的保护等等）。