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氮化铝真空镀膜——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在制备dlc薄膜时，因为制备方法的不同，氮化铝真空镀膜加工厂商，可以制备含氢和非氢dlc薄膜。在制备这两种dlc薄膜时，含氢和非氢dlc薄膜的结构，性能都不一样。非氢dlc薄膜只是在基片上溅射石墨，不含有其他的离子或元素，但是含氢dlc薄膜在溅射制备时要有h+。所以当在制备非氢dlc薄膜时，充入的气体只是气，但是在制备含氢dlc薄膜时，我们还要充入碳氢化合物气体，我们一般充入ch4或c2h2，这使得制备出来的两种dlc薄膜的结构和性能有很大差异。非氢dlc薄膜的硬度要比含氢dlc薄膜的大，同时，由于含氢dlc薄膜含有h+，所以含氢dlc薄膜表面一般比非氢dlc薄膜要致密光滑。同时，含氢dlc薄膜在制备时一般它的沉积速率比非氢dlc薄膜要明显快些。

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对经过清洗处理的清洁表面，不能在---环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，氮化铝真空镀膜价钱，以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。

清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。

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