电子束---微纳加工工厂-半导体-吉林电子束---微纳加工

电子束---微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

---离子束技术及其在微纳加工技术中的应用

---离子束（fib）技术是将离子源产生的离子束经过离子加速，---后作用到样品表面并进行纳米加工。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析等。---离子束技术也是集形貌观测、薄膜淀积、无掩模刻蚀和透射电镜样品制备等各功能于一体的新型微纳加工技术。

　　主要构成部分：离子源、离子光学柱、束描画系统、x-y工件台和信号采集处理单元。

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mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，电子束---微纳加工工厂，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳技术制造的未来发展与趋势

制造业的发展，目前对加工精度的的要求越来越高，微纳制造伴随着应运而生。截至到目前为止，微纳技术在国i防军i工及民用产品已经得到广泛应用，---体现在纳米级机械加工、电子束、liga技术和扫描隧道显微加工技术、看离子束加工等领域，应用十分广泛。