---光刻芯片加工-黑龙江光刻芯片加工-半导体微纳

光刻芯片加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

光刻板图案并不是设计图纸的简单再现，而是要根据实际工作经验对图案进行合理修饰才行。不做修饰的光刻板经过光刻机的显影以后，得到的芯片图案会失真非常---。

打个简单的比方，要想打印一个老虎的图案，必须得用猫的相片作为参照，如果用老虎自己的相片做参照，打印出来的可能就是怪兽了。所以，制作光刻板，硅片光刻芯片加工，不能跟图纸设计的图案完全一样。

必须根据光学衍射的理论，和光刻机实际失真程度的经验进行反向设计，把光刻板图案做一定的修饰，以便终光刻出来的图案足够接近理想效果。这个环节对设计经验的要求非常高，得反复试验才能达到的效果。

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光刻板的制作过程

1. 制作石英基板。空白基板通常为6英寸见方，厚度为0.25英寸。它由纯熔融石英制成，通常简称为石英。基板表面必须非常平坦且无缺陷。

2. 沉积吸收层。在基板上是薄的吸收层，可以阻挡来自光刻机的---。

3. 沉积光刻胶层。在吸收层的顶部是一层薄的光刻胶，暴露在光刻板写入机（mask writer）之下。

4. 写入。由光刻板写入机完成，使用电子束---光刻胶，将芯片设计的图案数据呈现在光刻胶上。

5. 烘烤。烘烤---的光刻胶，要求在光刻板上的每个点都温度均匀。

6. 显影。 使用显影剂使光刻胶的图像显影，漂洗并干燥而不留下任何残留物。因为光刻胶图案在蚀刻工艺期间用作光刻板，所以该显影步骤是关键的，因为显影中的任何不均匀性将导致终图案尺寸的不均匀性。

7. 蚀刻。然后将显影的光刻板放到到蚀刻机中，蚀刻机使用等离子体地蚀刻掉由写入和显影步骤带来的吸收剂材料。

8. 剥离和清洁。将蚀刻好的光刻板装入清洁机器中，清洁机器使用干等离子体或湿化学法剥离光刻胶。

9. 测量。测量关键尺寸（cd）和图案精度，以---它们符合客户规格。

10. 检查。为了验证图案精度，将光掩模加载到inspection机台中。如果发现缺陷，则对它们进行分类和---的修复。

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