透明电极真空镀膜工艺-浙江真空镀膜工艺-半导体研究所

真空镀膜工艺——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

众所周知磁控溅射真空镀膜设备用的是磁控溅射靶材，那么磁控溅射靶材在镀膜溅射的时候会出生靶现象，出现靶现状，是大家都非常头疼的事情，既浪费了靶材，同时也耽误了生产时间，是非常让人头疼的事情。

      一般情况下，金属化合物的二次电子发射系数比金属的高，靶后，靶材表面都是金属化合物，在受到离子轰击之后，释放的二次电子数量增加，提高了空间的导通能力，降低了等离子体阻抗，导致溅射电压降低。从而降低了溅射速率。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400v-600v之间，当发生靶时，溅射电压会---降低。

（2）金属靶材与化合物靶材本来溅射速率就不一样，一般情况下金属的溅射系数要比化合物的溅射系数高，所以靶后溅射速率低。

（3）反应溅射气体的溅射效率本来就比惰性气体的溅射效率低，所以反应气体比例增加后，综合溅射速率降低。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多真空镀膜工艺哟~

真空镀膜工艺——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。 

镀膜目的是防止指纹及油污不易粘附且轻易擦除。表面顺滑，手感舒适，不易刮花。增加玻璃表面耐磨性。af ---- anti-fingerprint，中文为抗指纹。一般sio2+af材料，一般采用真空蒸发镀膜法。      

原理：af防污防指纹玻璃是根据荷叶原理，在玻璃外表面涂制一层纳米化学材料，将玻璃表面张力降至低，灰尘与玻璃表面接触面积减少90%，使其具有较强的疏水、抗油污、抗指纹能力；使视屏玻璃面板长期保持着光洁亮丽的效果。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多真空镀膜工艺哟~