刻蚀微纳加工厂商-半导体研究所-浙江刻蚀微纳加工

刻蚀微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

　　mems代工的湿度传感器是由简单的湿敏电阻（电容）制作而成，湿敏电阻和湿敏电容测量湿度的原理呢？则是由湿敏电阻上面覆盖的一层高分子膜，这层膜会随着湿度的变化影响电阻的电导值或者电容的电容值，刻蚀微纳加工厂商，利用这种特性可以完成湿度传感器对环境湿度的测量。

　　湿敏元器件可以分为：电阻器式和电容传感器二种：

１、湿敏电阻的特性是在基片上遮盖一层用感湿原材料做成的膜，当空气中的水蒸汽吸咐在感湿膜上时，元器件的电阻和阻值都产生变化，运用这一特点就可以测量湿度；2、湿敏电容器一般是用高分子材料薄膜电容做成的，常见的纤维材料有聚乙烯、聚酰膜、酪酸---纤维等。当自然环境湿度发生改变时，湿敏电容器的导热系数产生变化，使其容量也产生变化，其电容器变化量与相对性湿度正比。

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刻蚀微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，刻蚀微纳加工实验室，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

　mems压力传感器类型众多，其中属硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器应用为广泛，技术为成熟。

　　涉及的主要工艺流程包括：薄膜制备、刻蚀、键合、封装。

　　运用到大量且复杂的mems设计工艺技术，有：薄膜制备技术、溅射技术、掺杂技术、刻蚀技术、键合技术、封装技术等。

　　在实际操作中，工艺步骤设计应该以简单、高成本效益为原则，根据终设计方案的差异，工艺流程也有不同。

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