mems材料刻蚀加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
干法腐蚀:干法刻蚀是通过等离子气与硅片发生物理或化学反应(或结合物理、化学两种反应)的方式将表面材料去除。
那什么是等离子体呢?
等离子体是完全或部分电离的气体离子,包括相同数量的正负电荷和不同数量的未电离分子组成。当足够大的电场加于气体并使其击穿和电离时,感应耦合等离子刻蚀材料刻蚀多少钱,就产生了等离子体。
等离子体由自由电子触发,这些自由电子可以由加负偏压的电极发射或由其他方法产生。自由电子从电场获得动能,流道材料刻蚀多少钱,在穿过气体的运动过程中与气体分子碰撞而损失能量。在碰撞中转移的能量使得气体分子电离,产生自由电子。这些自由电子又从电场中获得动能,以上过程不断持续。
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二氧化硅腐蚀后检查:
1、窗口内无残留sio2(去胶重新光刻);
2、窗口内无氧化物小岛(去胶重新光刻);
3、窗口边缘无过腐蚀(去胶重新光刻);
4、窗口内无染色现象(报废);
5、氧化膜无腐蚀(去胶重新光刻);
6、氧化膜无划伤等(去胶重新光刻)。
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二氧化硅腐蚀机理为:
h2sif6(六)是可溶于水的络合物,青海材料刻蚀多少钱,利用这个性质可以很容易通过光刻工艺实现选择性腐蚀二氧化硅。为了获得稳定的腐蚀速率,腐蚀二氧化硅的腐蚀液一般用hf、nh4f与纯水按一定比例配成缓冲液。
由于基区的氧化层较发射区的厚,以前小功率三极管的三次光刻(引线孔光刻)一般基极光刻和发射极光刻分步光刻,现在大部分都改为一步光刻,只有少部分品种还分步光刻,比如2xn003,2xn004,2xn013,2xp013等。但是由于基区的氧化层一般比发射区的厚,所以刻蚀时容易发生氧化区的侵蚀。
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