天河生物芯片真空镀膜-半导体镀膜-生物芯片真空镀膜工艺

生物芯片真空镀膜——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

真空镀膜机维护是非常重要的一个话题，采购商采购真空镀膜机回去，生物芯片真空镀膜工艺，生产商胜场设备一般都会配备机器维护保养手册，对于工艺要求比较高机器，会安排员工驻场服务，因为可以看出，不管是采购方还是生产方对真空镀膜机维护都非常重视。

当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，需更换新油。

方法是：拧开放油螺栓，生物芯片真空镀膜厂商，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油*排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法是：用(naoh)饱和溶液反复擦洗真空室内壁，( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

以上是真空镀膜机使用后常见的几种维护方法，机器日常维护少不了，大家一定要掌握好维护技巧，提高公司产能和降低成本。