晶圆光刻芯片代工-山东晶圆光刻芯片-半导体研究所

晶圆光刻芯片——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

同sic一样，gan也开始进军功率器件市场。虽然，2012年的gan市场上，ir和epc公司是仅有的两家器件供应商，但是到明年，可能会有多家公司推出自己的产品。如果这些厂家在2014年扩充产能，在2015年推出600v耐压的gan功率器件，整个市场的发展空间将得到---地扩充。

gan的起步较sic为早，但是sic的发展势头更快。在早期，两者因应用领域不同，直接竞争的机会并不大。但随着功率半导体市场向两者打开，面对面竞争就不可避免了。工业、新能源领域已经成为两者的战场，而在汽车领域，因为价格原因，厂商虽愿意采用传统的si器件。不过，随着gan和sic的快速发展，成本越来越接近si器件，---登陆这个市场的时间应该不远了。

现在，si晶圆的主流尺寸已经达到300mm(12英寸)，但是sic和gan只能做到150mm(6英寸)，这个差别的弥补还是需要一段时间的。但是对于半导体材料界，---和大众来说，出现了能挑战传统势力的新贵，还是非常有意义的。在持续的关注和投入下，这两者肯定能开出绚烂的花朵。

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光刻之所以得名，就是因为它通过利用光线，把带有图案的掩模板上的图形转移到晶圆片上。由于半导体技术的主要目标是尽可能的缩小电路尺寸，所以对光刻的精度要求也越来越高。---的光刻机是光刻步骤的基础，这就是为什么“光刻”成为---的工艺步骤。

为了支持更---的光刻，也有---的光刻机被制造出来。目前---的光刻机技术是极紫外光刻技术（euv，extreme ultra-violet），它使用波长为13.5纳米的极紫外线作为光源进行电路光刻，可以制造出7纳米及以下工艺节点的芯片。asml是euv光刻机的---厂商，其新型号的光刻机号称可实现0.3纳米的精度。

光刻技术是半导体芯片工艺中昂贵的工艺，在---工艺中，光刻步骤的成本可以占整个芯片加工成本的三分之一甚至更多。