微流控真空镀膜实验室-半导体研究所-天河真空镀膜实验室

真空镀膜实验室——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在重新开真空镀膜机前，要注意检漏。

     扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，电极真空镀膜实验室，或操作失当，充入---，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。

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真空镀膜实验室——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

真空镀膜机维护是非常重要的一个话题，采购商采购真空镀膜机回去，生产商胜场设备一般都会配备机器维护保养手册，对于工艺要求比较高机器，会安排员工驻场服务，因为可以看出，不管是采购方还是生产方对真空镀膜机维护都非常重视。

当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，金属真空镀膜实验室，需更换新油。

方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油*排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，天河真空镀膜实验室，用布擦干净箱内污垢。

真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法是：用(naoh)饱和溶液反复擦洗真空室内壁，( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

以上是真空镀膜机使用后常见的几种维护方法，机器日常维护少不了，大家一定要掌握好维护技巧，提高公司产能和降低成本。