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湿法蚀刻会在所有方向产生材料去除,这导致掩模定义的特征尺寸与基板上的特征尺寸之间存在差异。此外,---设备中的纵横比(---与宽度之比)增加,实现这些比例需要使用定向蚀刻技术对材料进行各向---蚀刻。有助于理解各向同性与各向---特征生成和定向蚀刻。对湿法蚀刻在加工中的效用的后打击可能是这样一个事实,即许多用于器件制造的新材料没有可用于蚀刻的湿法化学物质。这些问题结合在一起使湿蚀刻技术几乎只用于清洁而不是蚀刻应用。只有特征尺寸相对较大的器件才继续采用湿法蚀刻。表面清洁已在 各向---特征生成和定向蚀刻。对湿法蚀刻在加工中的效用的后打击可能是这样一个事实,即许多用于器件制造的新材料没有可用于蚀刻的湿法化学物质。这些问题结合在一起使湿蚀刻技术几乎只用于清洁而不是蚀刻应用。只有特征尺寸相对较大的器才继续采用湿法蚀刻。表面清洁已在晶圆表面清洁。
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现代器件制造中使用的大多数蚀刻技术都结合了物理和化学蚀刻的各个方面。在反应离子蚀刻等工艺中(rie),定向蚀刻是通过偏置基板来实现的,这样等离子体中的离子物质会朝着基板表面加速。在那里,它们与表面和反应物质相互作用,产生可以被抽走的挥发性产物。rie 中的离子能量远低于物理蚀刻技术所采用的离子能量,硅孔材料刻蚀价格,并且离子轰击效应可以忽略不计。离子能量转移到表面可以通过---反应物在轰击表面上的吸附(进入的离子在吸附和反应优先发生的地方产生高能量缺陷)和通过增强的副产物解吸(进入的离子能量转移到反应产物导致它们从表面解吸)。
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在半导体器件制造中,蚀刻是指选择性地从衬底上的薄膜去除材料并通过这种去除在衬底上创建该材料的图案的技术。该图案由一个能够抵抗蚀刻过程的掩模定义,其创建过程在光刻中有详细描述。一旦掩模就位,就可以通过湿化学或“干”物理方法蚀刻不受掩模保护的材料。
从历看,湿化学方法在用于图案定义的蚀刻中发挥了重要作用,随着器件特征尺寸的减小,表面形貌变得关键,湿化学蚀刻让位于干蚀刻技术。这种转变主要是由于湿蚀刻的各向同性。
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