磁控溅射真空镀膜厂家-北京磁控溅射真空镀膜-半导体镀膜

磁控溅射真空镀膜mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，北京磁控溅射真空镀膜，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

3试验

3.1试验目的

熟悉真空镀膜的操作过程和方法。

了解磁控溅射镀膜的原理及方法。

学会使用磁控溅射镀膜技术。

研究不同工作气压对镀膜影响。

3.2试验设备

saj-500真空磁控溅射镀膜机(配有纯铜靶材) ;气瓶;陶瓷基片;擦镜纸。

3.3试验原理

3.3. 1磁控溅射沉积镀膜机理

磁控溅射系统是在基本的二极溅射系统发展而来，解决二极溅射镀膜速度比蒸镀慢很多、等离子体的离化率低和基片的热效应明显的问题。磁控溅射系统在阴极靶材的背后放置强力磁铁，真空室充入0.1~ 10pa压力的惰性气体(ar)，作为气体放电的载体。

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磁控溅射真空镀膜mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

真空镀膜冷水机结构：

1、真空泵（进口）；

2、水箱、水泵；

3、冷却塔；

4、冷凝器；

5、压缩机；

6、过滤器；

7、膨胀阀；

8、压力表；

9、电控箱。

真空泵的作用是将压缩空气进行减压，然后送到水箱里。

水箱的作用是储存冷媒水，并起到散热作用。 水泵的作用是将冷媒水加压送入冷却塔中。 冷凝器的作用是使进入蒸发器的热交换气体降温，同时将制冷剂在蒸发器中的液化气放掉一部分。

膨胀阀的作用是当制冷系统出现故障时自动开启排气口，释放出系统中多余的压力和热量。

电控柜的功能是对整个系统的控制及保护功能。（包括对温度的控制、压力的监控、过电流的保护等等）。